服務(wù)熱線
0574-27976124
| 品牌 | ROOKO/瑞柯 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 自動(dòng)化度 | 全自動(dòng) | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天,汽車及零部件 |
高溫四探針測試儀
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制，解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求，軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
二.四探針測試儀適用行業(yè)：Applicable industry:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測量。設(shè)計(jì)參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
一.四探針測試儀概述：
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制，解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求，軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
二.四探針測試儀適用行業(yè)：
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測量。設(shè)計(jì)參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
三.四探針測試儀型號及參數(shù)
| 規(guī)格型號 | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
| 1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
| 2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
| 3.測試電流范圍 | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
| 4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.1讀數(shù) | ±2% |
| 5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
| PC軟件界面 | 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 | ||
| 7.測試方式 | 雙電測量 | ||
| 8.四探針儀工作電源 | AC 220V±10%.50Hz <30W | ||
| 9.誤差 | ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 | ≤15% | |
| 溫度(選購)
| 常溫 -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
| 氣氛保護(hù)（氣體客戶自備）) | 常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子 | ||
| 溫度精度 | 沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C | ||
| 升溫速度： e | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 | ||
| 高溫材料 | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征 | ||
| PC軟件 | 測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！ | ||
| 電極材料 | 鎢電極或鉬電極 | ||
| 探針間距 | 直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑 | ||
| 標(biāo)配外（選購）： | 電腦和打印機(jī)1套；2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè)； | ||
| 高溫電源： | 供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： | ||
