服務(wù)熱線
0574-27976124
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 自動(dòng)化度 | 手動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,農(nóng)林牧漁,能源,包裝/造紙/印刷 |
半導(dǎo)體電阻率測試儀操作手冊
功能描述Description：
- 四探針組合雙電測量方法
- 液晶顯示，自動(dòng)測量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.
- 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
- 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
- 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
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參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試
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半導(dǎo)體電阻率測試儀操作手冊
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規(guī)格型號/ model
FT-341
FT-342
FT-343
FT-345
FT-346
FT-347
1.方塊電阻
10-5～2×105Ω/□
10-4～2×105Ω/□
10-3～2×105Ω/□
10-3～2×104Ω /□
10-2～2×105Ω/□
10-2～2×104Ω/□
2.電阻率
10-6～2×106Ω-cm
10-5～2×106Ω-cm
10-4～2×106Ω-cm
10-4～2×105Ω-cm
10-3～2×106Ω-cm
10-3～2×106Ω-cm
3.測試電流
0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA
1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA
1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度
±0.1%
±0.2%
±0.2%
±0.3%
±0.3%
±0.3% accuracy
5.電阻精度
≤0.3%
≤0.3%
≤0.3%
≤0.5%
≤0.5%
≤0.5% accuracy
6.顯示讀數(shù)
屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式
雙電測量
8.電源
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
9.誤差
≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）
10.選購功能
選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻
11.測試探頭t
探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針
